Product category:半導體自動化生產設備
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全自動系統,可以在晶圓盒和callotes之間傳送晶圓 精確地放置,通過自動位置測量和自動化指導,實現卓越的操作精度和重復性 多功能性,分段掃描映射可以自動檢測不同的分段類型和不同calotte類型 主機通知, 晶圓ID,晶圓盒 ID,段位ID以及段內位置 滿足處理要求的最高可靠性 吞吐量最大化全速傳輸時240 wph 下料模式時為240 wph 上料模式為160wph 機電一體化元件和技術可以更大限度地提高晶圓的安全性。
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